1. Roimh an bpróiseáil, deimhneoidh gach clár go docht an bhfuil an uirlis comhsheasmhach leis an gclár.
2. Agus an uirlis á shuiteáil, deimhnigh an bhfuil fad an uirlis agus an ceann uirlis roghnaithe oiriúnach.
3. Ná hoscail an doras le linn oibriú meaisín a sheachaint ag eitilt scian nó ag eitilt workpiece.
4. Má aimsítear uirlis le linn meaisínithe, ní mór don oibreoir stop a chur láithreach, mar shampla, brúigh an cnaipe "Stop Éigeandála" nó an cnaipe "Cnaipe Athshocraigh" nó socraigh an "Luas Feed" go nialas.
5. Sa phíosa oibre céanna, ní mór an limistéar céanna den phíosa oibre céanna a choinneáil chun cruinneas rialacha oibriúcháin lárionad meaisínithe CNC a chinntiú nuair a bhíonn an uirlis ceangailte.
6. Má aimsítear liúntas meaisínithe iomarcach le linn meaisínithe, ní mór "Deighleog Aonair" nó "Sos" a úsáid chun luachanna X, Y agus Z a ghlanadh, agus ansin muilleoireacht de láimh, agus ansin ag croitheadh ar ais Zero" ligeann sé a reáchtáil leis féin.
7. Le linn na hoibríochta, ní fhágann an t-oibreoir an meaisín ná ní dhéanfaidh sé seiceáil rialta ar staid reatha an mheaisín.Más gá lár bealaigh a fhágáil, ní mór pearsanra ábhartha a ainmniú lena iniúchadh.
8. Sula ndéantar an scian éadrom a spraeáil, déanfar an slaig alúmanaim san uirlis meaisín a ghlanadh chun an slaig alúmanaim a chosc ó ola a ionsú.
9. Déan iarracht a shéideadh le haer le linn meaisínithe garbh, agus spraeáladh ola sa chlár scian éadrom.
10. Tar éis an saotharphíosa a dhíluchtú ón meaisín, déanfar é a ghlanadh agus a dhíbhusú in am.
11. Nuair a bheidh sé as dualgas, ní mór don oibreoir an obair a thabhairt ar láimh go tráthúil agus go cruinn chun a chinntiú gur féidir an próiseáil ina dhiaidh sin a dhéanamh de ghnáth.
12. Bí cinnte go bhfuil an iris uirlisí sa suíomh bunaidh agus stoptar an ais XYZ ag seasamh an ionaid roimh an meaisín a mhúchadh, agus ansin an soláthar cumhachta agus an príomhsholáthar cumhachta a mhúchadh ar an bpainéal oibríochta meaisín.
13. I gcás stoirme toirneach, ní mór an chumhacht a mhúchadh láithreach agus ní mór an obair a stopadh.
Is é tréith an mhodha próiseála páirteanna cruinneas ná méid na n-ábhar dromchla a bhaintear nó a chuirtear leis go mín a rialú.Mar sin féin, d'fhonn cruinneas próiseála páirteanna cruinneas a fháil, táimid fós ag brath ar threalamh próiseála cruinneas agus ar chóras srianta beacht, agus glacann muid masc cruinneas ultra mar an t-idirghabhálaí.
Mar shampla, le haghaidh pláta a dhéanamh VLSI, tá an photoresist (féach photolithography) ar an masc nochta ag an bhíoma leictreon, ionas go mbeidh adaimh an photoresist polaiméiriú go díreach (nó dianscaoilte) faoi thionchar an leictreoin, agus ansin an déantar páirteanna polaiméirithe nó neamh-pholaiméirithe a thuaslagadh leis an bhforbróir chun an masc a fhoirmiú.Ní mór cruinneas suímh mesa a bheith ± 0.01 le haghaidh pláta nochta le léas leictreoin a dhéanann trealamh próiseála ultra-bheachtais μM.
Gearradh páirteanna ultra-chruinneas
Áiríonn sé go príomha casadh cruinneas ultra, meilt scátháin agus meilt.Déantar micrea-chasadh ar deil ultra-bheachtais le huirlisí casta diamanta criostail aonair atá snasta go mín.Níl an tiús gearrtha ach thart ar 1 miocrón.Úsáidtear go coitianta é le haghaidh próiseála scátháin sféarúil, aspherical agus eitleán d'ábhair miotail neamhfheiriúla le cruinneas ard agus cuma.Comhdhéanamh.Mar shampla, tá cruinneas uasta 0.1 μ m ag scáthán aspherical le trastomhas de 800 mm chun feistí comhleá núicléach a phróiseáil.Is é 0.05 μ m garbh an chuma.
Meaisínithe speisialta páirteanna ultra-bheachtais
Tá cruinneas meaisínithe páirteanna ultra-bheachtais leibhéal nanaiméadar.Fiú má ghlactar leis an aonad adamhach (spásáil laitíse adamhach 0.1-0.2nm) mar an sprioc, ní féidir é a oiriúnú do mhodh gearrtha páirteanna ultra-bheachtais.Éilíonn sé modh próiseála páirteanna cruinneas speisialta, eadhon, ceimic fheidhmeach.
Is féidir le fuinneamh, fuinneamh leictriceimiceach, fuinneamh teirmeach nó fuinneamh leictreach an fuinneamh a dhéanamh níos mó ná an fuinneamh nasctha idir adaimh, ionas go gcuirfear deireadh leis an greamaitheacht, an nascáil nó an dífhoirmiúchán laitíse idir roinnt codanna seachtracha den phíosa oibre, agus an cuspóir meaisínithe ultra-cruinneas a bhaint amach. áirítear snasú meicniceimiceach, sputtering ian agus ionchlannú ian, liteagrafaíocht léas leictreon, próiseáil léas léasair, galú miotail agus epitaxy léas móilíneach.
Am postála: Jun-03-2019
