1. Ua ntej ua tiav, txhua qhov kev zov me nyuam yuav tsum nruj me ntsis paub meej tias cov cuab yeej ua tau raws li qhov kev zov me nyuam.
2. Thaum txhim kho lub cuab yeej, paub meej tias qhov ntev ntawm lub cuab yeej thiab cov cuab yeej xaiv lub taub hau tsim nyog.
3. Tsis txhob qhib lub qhov rooj thaum lub sijhawm ua haujlwm ntawm lub tshuab kom tsis txhob yaim riam lossis ya workpiece.
4. Yog tias muaj ib lub cuab yeej pom thaum lub tshuab machining, tus neeg teb xov tooj yuav tsum nres tam sim ntawd, piv txwv li, nias lub pob "Emergency Stop" lossis "Reset Button" lossis teem "Feed Speed" rau xoom.
5. Nyob rau hauv tib lub workpiece, tib cheeb tsam ntawm tib lub workpiece yuav tsum tau khaws cia kom paub tseeb tias qhov tseeb ntawm cov kev khiav hauj lwm cov kev cai ntawm CNC machining center thaum lub cuab tam txuas.
6. Yog tias qhov nyiaj pub tshaj machining tau pom thaum lub sijhawm machining, "Single Segment" lossis "Pause" yuav tsum tau siv los tshem tawm X, Y thiab Z qhov tseem ceeb, thiab tom qab ntawd milling manually, thiab tom qab ntawd co rov qab Zero "cia nws khiav ntawm nws tus kheej.
7. Thaum lub sijhawm ua haujlwm, tus neeg teb xov tooj yuav tsum tsis txhob tawm ntawm lub tshuab lossis tsis tu ncua xyuas lub sijhawm khiav ntawm lub tshuab.Yog tias tsim nyog tawm ntawm ib nrab, cov neeg ua haujlwm cuam tshuam yuav tsum raug xaiv los tshuaj xyuas.
8. Ua ntej txau lub teeb riam, cov txhuas slag nyob rau hauv lub tshuab cuab yeej yuav tsum tau muab ntxuav kom tsis txhob muaj txhuas slag absorbing roj.
9. Sim tshuab nrog huab cua thaum lub sij hawm machining ntxhib, thiab tshuaj tsuag roj hauv qhov kev pab cuam riam phom.
10. Tom qab lub workpiece yog unloaded ntawm lub tshuab, nws yuav tsum tau muab ntxuav thiab deburred nyob rau hauv lub sij hawm.
11. Thaum tsis ua haujlwm, tus neeg teb xov tooj yuav tsum muab cov haujlwm ua haujlwm raws sijhawm thiab raug kom paub tseeb tias cov txheej txheem tom ntej tuaj yeem ua tau raws li qhov qub.
12. Xyuas kom tseeb tias cov cuab yeej ntawv xov xwm nyob rau hauv thawj txoj hauj lwm thiab XYZ axis nres ntawm qhov chaw nruab nrab ua ntej kaw lub tshuab, thiab tom qab ntawd tua lub hwj chim thiab lub ntsiab fais fab ntawm lub tshuab ua haujlwm vaj huam sib luag.
13. Thaum muaj cua daj cua dub, lub hwj chim yuav tsum tau muab tua tam sim ntawd thiab yuav tsum tau ua haujlwm.
Tus yam ntxwv ntawm precision qhov chaw ua txoj kev yog los tswj tus nqi ntawm cov ntaub ntawv nto tshem tawm los yog ntxiv tsis tshua muaj finely.Txawm li cas los xij, txhawm rau kom tau txais qhov tseeb ntawm precision qhov chaw ua, peb tseem cia siab rau cov cuab yeej ua haujlwm precision thiab cov txheej txheem nruj nruj, thiab siv lub npog ntsej muag ultra precision ua tus neeg nruab nrab.
Piv txwv li, rau lub phaj ua ntawm VLSI, lub photoresist (saib photolithography) ntawm lub npog ntsej muag raug nthuav tawm los ntawm cov kab hluav taws xob, kom cov atoms ntawm photoresist ncaj qha polymerized (los yog decomposed) nyob rau hauv cov kev cuam tshuam ntawm electron, thiab tom qab ntawd cov atoms ntawm photoresist yog ncaj qha polymerized (los yog decomposed) nyob rau hauv cov kev cuam tshuam ntawm electron polymerized los yog tsis yog polymerized qhov chaw yog yaj nrog tus tsim tawm los tsim lub npog ntsej muag.Qhov chaw qhov tseeb ntawm mesa yuav tsum yog ± 0.01 rau electron beam raug phaj ua μ M ultra precision ua khoom.
Ultra precision qhov txiav
Nws feem ntau suav nrog ultra precision tig, daim iav sib tsoo thiab sib tsoo.Micro tig yog nqa tawm ntawm lub tshuab dhos ultra precision nrog finely polished ib lub pob zeb diamond tig cov cuab yeej.Qhov txiav thickness tsuas yog hais txog 1 micron.Nws yog feem ntau siv rau kev ua cov kheej kheej, aspherical thiab dav hlau tsom iav ntawm cov khoom siv hlau tsis muaj hlau nrog siab precision thiab zoo li.Kev sib xyaw.Piv txwv li, daim iav aspherical nrog txoj kab uas hla ntawm 800 hli rau kev ua cov khoom siv hluav taws xob nuclear muaj qhov tseeb tshaj plaws ntawm 0.1 μ m.Qhov pom roughness yog 0.05 μm.
Tshwj xeeb machining ntawm ultra precision qhov chaw
Lub machining raug ntawm ultra precision qhov chaw yog nanometer qib.Txawm hais tias chav tsev atomic (atomic lattice spacing yog 0.1-0.2nm) raug coj los ua lub hom phiaj, nws tsis tuaj yeem hloov mus rau txoj kev txiav ntawm ultra precision qhov chaw.Nws yuav tsum tau siv tshwj xeeb precision qhov chaw ua txoj kev, namely, siv chemistry.
Lub zog, hluav taws xob hluav taws xob, hluav taws xob hluav taws xob, hluav taws xob hluav taws xob tuaj yeem ua kom lub zog ntau dua lub zog sib txuas ntawm cov atoms, txhawm rau tshem tawm cov adhesion, kev sib txuas lossis lattice deformation ntawm qee qhov chaw sab nraud ntawm lub workpiece, thiab ua tiav lub hom phiaj ntawm ultra precision machining cov txheej txheem no. muaj xws li kev siv tshuab polishing, ion sputtering thiab ion implantation, electron beam lithography, laser beam ua, hlau evaporation thiab molecular beam epitaxy.
Post lub sij hawm: Jun-03-2019
