1. ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗೊಳಿಸುವ ಮೊದಲು, ಪ್ರತಿ ಪ್ರೋಗ್ರಾಂ ಉಪಕರಣವು ಪ್ರೋಗ್ರಾಂನೊಂದಿಗೆ ಸ್ಥಿರವಾಗಿದೆಯೇ ಎಂಬುದನ್ನು ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾಗಿ ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
2. ಉಪಕರಣವನ್ನು ಸ್ಥಾಪಿಸುವಾಗ, ಉಪಕರಣದ ಉದ್ದ ಮತ್ತು ಆಯ್ಕೆಮಾಡಿದ ಟೂಲ್ ಹೆಡ್ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆಯೇ ಎಂಬುದನ್ನು ದೃಢೀಕರಿಸಿ.
3. ಹಾರುವ ಚಾಕು ಅಥವಾ ಹಾರುವ ವರ್ಕ್‌ಪೀಸ್ ಅನ್ನು ತಪ್ಪಿಸಲು ಯಂತ್ರದ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಬಾಗಿಲು ತೆರೆಯಬೇಡಿ.
4. ಯಂತ್ರದ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಉಪಕರಣವು ಕಂಡುಬಂದರೆ, ಆಪರೇಟರ್ ತಕ್ಷಣವೇ ನಿಲ್ಲಿಸಬೇಕು, ಉದಾಹರಣೆಗೆ, "ತುರ್ತು ನಿಲುಗಡೆ" ಬಟನ್ ಅಥವಾ "ಮರುಹೊಂದಿಸು ಬಟನ್" ಬಟನ್ ಅನ್ನು ಒತ್ತಿರಿ ಅಥವಾ "ಫೀಡ್ ಸ್ಪೀಡ್" ಅನ್ನು ಶೂನ್ಯಕ್ಕೆ ಹೊಂದಿಸಿ.
5. ಅದೇ ವರ್ಕ್‌ಪೀಸ್‌ನಲ್ಲಿ, ಉಪಕರಣವನ್ನು ಸಂಪರ್ಕಿಸಿದಾಗ ಸಿಎನ್‌ಸಿ ಮ್ಯಾಚಿಂಗ್ ಸೆಂಟರ್‌ನ ಆಪರೇಟಿಂಗ್ ನಿಯಮಗಳ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಅದೇ ವರ್ಕ್‌ಪೀಸ್‌ನ ಅದೇ ಪ್ರದೇಶವನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸಬೇಕು.
6. ಯಂತ್ರದ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಅತಿಯಾದ ಯಂತ್ರದ ಭತ್ಯೆ ಕಂಡುಬಂದರೆ, X, Y ಮತ್ತು Z ಮೌಲ್ಯಗಳನ್ನು ತೆರವುಗೊಳಿಸಲು "ಏಕ ವಿಭಾಗ" ಅಥವಾ "ವಿರಾಮ" ಅನ್ನು ಬಳಸಬೇಕು, ತದನಂತರ ಹಸ್ತಚಾಲಿತವಾಗಿ ಮಿಲ್ಲಿಂಗ್ ಮಾಡಿ ಮತ್ತು ನಂತರ ಶೂನ್ಯವನ್ನು ಅಲುಗಾಡಿಸುವುದು "ಅದನ್ನು ತಾನೇ ಚಲಾಯಿಸಲು ಅನುಮತಿಸುತ್ತದೆ.
7. ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ, ಆಪರೇಟರ್ ಯಂತ್ರವನ್ನು ಬಿಡಬಾರದು ಅಥವಾ ಯಂತ್ರದ ಚಾಲನೆಯಲ್ಲಿರುವ ಸ್ಥಿತಿಯನ್ನು ನಿಯಮಿತವಾಗಿ ಪರಿಶೀಲಿಸಬಾರದು.ಮಧ್ಯದಲ್ಲಿ ಬಿಡಲು ಅಗತ್ಯವಿದ್ದರೆ, ತಪಾಸಣೆಗಾಗಿ ಸಂಬಂಧಿತ ಸಿಬ್ಬಂದಿಯನ್ನು ನೇಮಿಸಬೇಕು.
8. ಬೆಳಕಿನ ಚಾಕುವನ್ನು ಸಿಂಪಡಿಸುವ ಮೊದಲು, ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಸ್ಲ್ಯಾಗ್ ತೈಲವನ್ನು ಹೀರಿಕೊಳ್ಳುವುದನ್ನು ತಡೆಯಲು ಯಂತ್ರ ಉಪಕರಣದಲ್ಲಿನ ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಸ್ಲ್ಯಾಗ್ ಅನ್ನು ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಬೇಕು.
9. ಒರಟು ಯಂತ್ರದ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಗಾಳಿಯನ್ನು ಸ್ಫೋಟಿಸಲು ಪ್ರಯತ್ನಿಸಿ, ಮತ್ತು ಬೆಳಕಿನ ಚಾಕು ಪ್ರೋಗ್ರಾಂನಲ್ಲಿ ತೈಲವನ್ನು ಸಿಂಪಡಿಸಿ.
10. ಯಂತ್ರದಿಂದ ವರ್ಕ್‌ಪೀಸ್ ಅನ್ನು ಇಳಿಸಿದ ನಂತರ, ಅದನ್ನು ಸಮಯಕ್ಕೆ ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಬೇಕು ಮತ್ತು ತೆಗೆದುಹಾಕಬೇಕು.
11. ಕರ್ತವ್ಯದಿಂದ ಹೊರಗಿರುವಾಗ, ನಂತರದ ಸಂಸ್ಕರಣೆಯನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ನಡೆಸಬಹುದೆಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಆಪರೇಟರ್ ಸಕಾಲಿಕವಾಗಿ ಮತ್ತು ನಿಖರವಾಗಿ ಕೆಲಸವನ್ನು ಹಸ್ತಾಂತರಿಸಬೇಕು.
12. ಟೂಲ್ ಮ್ಯಾಗಜೀನ್ ಮೂಲ ಸ್ಥಾನದಲ್ಲಿದೆ ಮತ್ತು ಯಂತ್ರವನ್ನು ಆಫ್ ಮಾಡುವ ಮೊದಲು XYZ ಅಕ್ಷವನ್ನು ಕೇಂದ್ರ ಸ್ಥಾನದಲ್ಲಿ ನಿಲ್ಲಿಸಲಾಗಿದೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಿ, ತದನಂತರ ಯಂತ್ರದ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ಫಲಕದಲ್ಲಿ ವಿದ್ಯುತ್ ಸರಬರಾಜು ಮತ್ತು ಮುಖ್ಯ ವಿದ್ಯುತ್ ಸರಬರಾಜನ್ನು ಆಫ್ ಮಾಡಿ.
13. ಗುಡುಗು ಸಹಿತ ಮಳೆಯಾದರೆ ತಕ್ಷಣ ವಿದ್ಯುತ್ ಸ್ಥಗಿತಗೊಳಿಸಿ ಕಾಮಗಾರಿ ಸ್ಥಗಿತಗೊಳಿಸಬೇಕು.
ನಿಖರವಾದ ಭಾಗಗಳ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ವಿಧಾನದ ವಿಶಿಷ್ಟತೆಯು ಮೇಲ್ಮೈ ವಸ್ತುಗಳ ಪ್ರಮಾಣವನ್ನು ತೆಗೆದ ಅಥವಾ ಅತ್ಯಂತ ನುಣ್ಣಗೆ ಸೇರಿಸುವ ಪ್ರಮಾಣವನ್ನು ನಿಯಂತ್ರಿಸುವುದು.ಆದಾಗ್ಯೂ, ನಿಖರವಾದ ಭಾಗಗಳ ಸಂಸ್ಕರಣೆಯ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಪಡೆಯಲು, ನಾವು ಇನ್ನೂ ನಿಖರವಾದ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಉಪಕರಣಗಳು ಮತ್ತು ನಿಖರವಾದ ನಿರ್ಬಂಧದ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯನ್ನು ಅವಲಂಬಿಸಿರುತ್ತೇವೆ ಮತ್ತು ಮಧ್ಯವರ್ತಿಯಾಗಿ ಅಲ್ಟ್ರಾ ನಿಖರ ಮುಖವಾಡವನ್ನು ತೆಗೆದುಕೊಳ್ಳುತ್ತೇವೆ.
ಉದಾಹರಣೆಗೆ, VLSI ಯ ಪ್ಲೇಟ್ ತಯಾರಿಕೆಗಾಗಿ, ಮುಖವಾಡದ ಮೇಲಿನ ಫೋಟೊರೆಸಿಸ್ಟ್ (ಫೋಟೊಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ನೋಡಿ) ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ ಕಿರಣದಿಂದ ಬಹಿರಂಗಗೊಳ್ಳುತ್ತದೆ, ಆದ್ದರಿಂದ ಫೋಟೊರೆಸಿಸ್ಟ್‌ನ ಪರಮಾಣುಗಳು ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್‌ನ ಪ್ರಭಾವದ ಅಡಿಯಲ್ಲಿ ನೇರವಾಗಿ ಪಾಲಿಮರೀಕರಣಗೊಳ್ಳುತ್ತದೆ (ಅಥವಾ ಕೊಳೆಯುತ್ತದೆ), ಮತ್ತು ನಂತರ ಮುಖವಾಡವನ್ನು ರೂಪಿಸಲು ಡೆವಲಪರ್‌ನೊಂದಿಗೆ ಪಾಲಿಮರೀಕರಿಸಿದ ಅಥವಾ ಪಾಲಿಮರೀಕರಿಸದ ಭಾಗಗಳನ್ನು ಕರಗಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ ಬೀಮ್ ಎಕ್ಸ್‌ಪೋಸರ್ ಪ್ಲೇಟ್ ತಯಾರಿಕೆ μM ಅಲ್ಟ್ರಾ ಪ್ರಿಸಿಶನ್ ಪ್ರೊಸೆಸಿಂಗ್ ಉಪಕರಣಕ್ಕಾಗಿ ಮೆಸಾದ ಸ್ಥಾನೀಕರಣದ ನಿಖರತೆಯು ± 0.01 ಆಗಿರಬೇಕು.
ಅಲ್ಟ್ರಾ ನಿಖರವಾದ ಭಾಗ ಕತ್ತರಿಸುವುದು
ಇದು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಅಲ್ಟ್ರಾ ಪ್ರಿಸಿಶನ್ ಟರ್ನಿಂಗ್, ಮಿರರ್ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಅನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿದೆ.ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಟರ್ನಿಂಗ್ ಅನ್ನು ನುಣ್ಣಗೆ ಪಾಲಿಶ್ ಮಾಡಿದ ಸಿಂಗಲ್ ಕ್ರಿಸ್ಟಲ್ ಡೈಮಂಡ್ ಟರ್ನಿಂಗ್ ಟೂಲ್‌ಗಳೊಂದಿಗೆ ಅಲ್ಟ್ರಾ ಪ್ರಿಸಿಶನ್ ಲ್ಯಾಥ್‌ನಲ್ಲಿ ನಡೆಸಲಾಗುತ್ತದೆ.ಕತ್ತರಿಸುವ ದಪ್ಪವು ಕೇವಲ 1 ಮೈಕ್ರಾನ್ ಆಗಿದೆ.ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು ನೋಟವನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ನಾನ್-ಫೆರಸ್ ಲೋಹದ ವಸ್ತುಗಳ ಗೋಳಾಕಾರದ, ಆಸ್ಫೆರಿಕಲ್ ಮತ್ತು ಪ್ಲೇನ್ ಕನ್ನಡಿಗಳನ್ನು ಸಂಸ್ಕರಿಸಲು ಇದನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.ಸಂಯೋಜನೆ.ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ಪರಮಾಣು ಸಮ್ಮಿಳನ ಸಾಧನಗಳನ್ನು ಸಂಸ್ಕರಿಸಲು 800 ಮಿಮೀ ವ್ಯಾಸವನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಆಸ್ಫೆರಿಕಲ್ ಕನ್ನಡಿಯು ಗರಿಷ್ಠ 0.1 μm ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತದೆ.ಗೋಚರತೆಯ ಒರಟುತನವು 0.05 μm ಆಗಿದೆ.
ಅಲ್ಟ್ರಾ ನಿಖರ ಭಾಗಗಳ ವಿಶೇಷ ಯಂತ್ರ
ಅಲ್ಟ್ರಾ ನಿಖರವಾದ ಭಾಗಗಳ ಯಂತ್ರ ನಿಖರತೆ ನ್ಯಾನೊಮೀಟರ್ ಮಟ್ಟವಾಗಿದೆ.ಪರಮಾಣು ಘಟಕವನ್ನು (ಪರಮಾಣು ಲ್ಯಾಟಿಸ್ ಅಂತರವು 0.1-0.2nm) ಗುರಿಯಾಗಿ ತೆಗೆದುಕೊಂಡರೂ, ಅದು ಅಲ್ಟ್ರಾ ನಿಖರ ಭಾಗಗಳ ಕತ್ತರಿಸುವ ವಿಧಾನಕ್ಕೆ ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುವುದಿಲ್ಲ.ಇದು ವಿಶೇಷ ನಿಖರವಾದ ಭಾಗಗಳ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ವಿಧಾನವನ್ನು ಬಳಸಬೇಕಾಗುತ್ತದೆ, ಅವುಗಳೆಂದರೆ ಅನ್ವಯಿಕ ರಸಾಯನಶಾಸ್ತ್ರ.
ಶಕ್ತಿ, ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಕೆಮಿಕಲ್ ಶಕ್ತಿ, ಉಷ್ಣ ಶಕ್ತಿ ಅಥವಾ ವಿದ್ಯುತ್ ಶಕ್ತಿಯು ಪರಮಾಣುಗಳ ನಡುವಿನ ಬಂಧದ ಶಕ್ತಿಯನ್ನು ಮೀರುವಂತೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ, ಇದರಿಂದಾಗಿ ವರ್ಕ್‌ಪೀಸ್‌ನ ಕೆಲವು ಬಾಹ್ಯ ಭಾಗಗಳ ನಡುವಿನ ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆ, ಬಂಧ ಅಥವಾ ಲ್ಯಾಟಿಸ್ ವಿರೂಪವನ್ನು ತೊಡೆದುಹಾಕಲು ಮತ್ತು ಅಲ್ಟ್ರಾ ನಿಖರವಾದ ಯಂತ್ರದ ಉದ್ದೇಶವನ್ನು ಸಾಧಿಸಲು ಈ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳು ಮೆಕಾನೊಕೆಮಿಕಲ್ ಪಾಲಿಶಿಂಗ್, ಅಯಾನ್ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಅಯಾನ್ ಇಂಪ್ಲಾಂಟೇಶನ್, ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ ಬೀಮ್ ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ, ಲೇಸರ್ ಕಿರಣ ಸಂಸ್ಕರಣೆ, ಲೋಹದ ಆವಿಯಾಗುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಆಣ್ವಿಕ ಕಿರಣದ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿ ಸೇರಿವೆ.
ಪೋಸ್ಟ್ ಸಮಯ: ಜೂನ್-03-2019
