1. I mua i te tukatuka, me tino whakapumau ia papatono mehemea he rite te taputapu ki te kaupapa.
2. I te wa e whakauru ana i te taputapu, whakaū mena he pai te roa o te taputapu me te upoko taputapu kua tohua.
3. Kaua e whakatuwheratia te kuaha i te wa e mahi ana te miihini ki te karo i te maripi rere, te taputapu mahi rere ranei.
4. Mena ka kitea he taputapu i te wa o te miihini, me mutu tonu te kaiwhakahaere, hei tauira, pehia te paatene "Kati ohorere" ranei te paatene "Tautuhi Tautuhi" ranei te tautuhi i te "Te Tere Whangai" ki te kore.
5. I roto i te mahinga mahi kotahi, me mau tonu te waahi o te waahanga mahi hei whakarite i te tika o nga ture whakahaere o te pokapū miihini CNC i te wa e hono ana te taputapu.
6. Ki te kitea he nui te utu miihini i te wa e mahi miihini ana, me whakamahi te "Waihanga Kotahi" me te "Tatari" ki te whakakore i nga uara X, Y me te Z, ka mira a ringa, ka wiri whakamuri i a Zero "ka rere ko ia anake.
7. I te wa e mahi ana, kaua te kaiwhakahaere e whakarere i te miihini, ka tirotirohia ranei i nga wa katoa te ahua o te miihini.Mena e tika ana ki te wehe i waenganui, me tohu nga kaimahi e tika ana mo te tirotiro.
8. I mua i te pupuhi i te maripi marama, ka horoia te konumohe konumohe i roto i te taputapu miihini kia kore ai e pakaru te hinu konumohe.
9. Ngana ki te pupuhi i te hau i te wa o te mahi miihini, ka rehu hinu ki roto i te kaupapa maripi marama.
10. I muri i te tangohanga o te taputapu mahi mai i te miihini, me horoi me te whakakore i te waa.
11. Ka mutu ana te mahi, me tuku e te kaiwhakahaere nga mahi i te wa tika me te tika ki te whakarite ka taea te whakahaere i nga mahi o muri mai.
12. Me mohio kei te waahi tuatahi te maheni taputapu ka mutu te tuaka XYZ i te waahi o te pokapū i mua i te whakaweto i te miihini, katahi ka whakawetohia te hiko me te hiko matua i runga i te roopu mahi miihini.
13. Ki te puta he whatitiri, me whakaweto tonu te hiko ka mutu te mahi.
Ko te ahuatanga o te tikanga tukatuka waahanga tika ko te whakahaere i te nui o nga rauemi mata ka tangohia, ka taapirihia ranei kia tino pai.Heoi, kia whiwhi ai i te tino tika o te tukatuka i nga waahanga tika, ka whakawhirinaki tonu tatou ki nga taputapu tukatuka tika me te punaha herenga tika, me te tango i te kanohi ultra precision hei takawaenga.
Hei tauira, mo te hanga pereti o te VLSI, ko te photoresist (tirohia te photolithography) i runga i te kanohi ka kitea e te kurupae irahiko, na te ngota o te photoresist ka polymerized tika (he pirau ranei) i raro i te paanga o te irahiko, katahi ka ka rewa nga wahi polymerized, kore polymerized ranei ki te kaiwhakawhanake hei hanga i te kanohi kanohi.Ko te tika o te tuunga o te mesa e hiahiatia ana kia ± 0.01 mo te pereti whakakitenga kurupae irahiko hanga μ M taputapu tukatuka tino tika.
Te tapahi waahanga tino tika
Ko te nuinga kei roto ko te hurihanga tino tika, te huri whakaata me te huri.Ko te hurihanga moroiti ka mahia i runga i te miro tino tika me nga taputapu huri taimana taimana kotahi kua orohia.Ko te matotoru tapahi he 1 micron noa iho.Kei te whakamahia mo te tukatuka porohita, aspherical me nga whakaata rererangi o nga taonga whakarewa kore-ferrous me te tino tika me te ahua.Te tito.Hei tauira, ko te whakaata aspherical me te diameter o te 800 mm mo te tukatuka i nga taputapu whakakotahi karihi he 0.1 μm te tino tika.Ko te taratara o te ahua he 0.05 μm.
Mahini motuhake o nga waahanga tino tika
Ko te tika o te miihini o nga waahanga tino tika ko te taumata nanometer.Ahakoa ko te waeine ngota (ko te mokowhiti ngota ngota ko 0.1-0.2nm) ka tangohia hei whaainga, kaore e taea te urutau ki te tikanga tapahi o nga waahanga tino tika.Me whakamahi i nga tikanga tukatuka waahanga motuhake, ara, te matū tono.
Ko te kaha, te hiko hiko, te waiariki, te hiko hiko ranei ka nui ake te kaha o te hono i waenga i nga ngota, kia kore ai te taapiri, te honohono, te whakahurihuri ranei i waenga i etahi waahanga o waho o te taputapu mahi, ka tutuki te kaupapa o te miihini ultra tino tika. ko te whakakorikori miihini, te pupuhi katote me te whakaurunga katote, te hikoi hiko hiko, te tukatuka kurupae taiaho, te whakaetonga whakarewa me te epitaxy kurupae ngota.
Wā tuku: Hune-03-2019
