1. Боловсруулахын өмнө програм бүр нь уг хэрэгсэл нь програмтай нийцэж байгаа эсэхийг хатуу баталгаажуулна.
2. Багажийг суулгахдаа багажны урт болон сонгосон багажны толгой тохиромжтой эсэхийг шалгана уу.
3. Нисдэг хутга болон нисдэг бэлдэцээс зайлсхийхийн тулд машиныг ажиллуулах явцад хаалгыг онгойлгож болохгүй.
4. Машины боловсруулалтын явцад багаж олдвол оператор нэн даруй зогсох ёстой, жишээлбэл, "Яаралтай зогсоох" товчлуур эсвэл "Дахин тохируулах товч" товчийг дарах эсвэл "Тэжээлийн хурд" -ыг тэг болгож тохируулна.
5. Багажийг холбох үед CNC боловсруулах төвийн үйл ажиллагааны дүрмийн үнэн зөв байдлыг хангахын тулд ижил бэлдэц дээр ижил ажлын хэсгийн ижил хэсгийг хадгалах ёстой.
6. Боловсруулалтын явцад хэт их боловсруулалт илэрвэл X, Y, Z утгыг арилгахын тулд "Нэг сегмент" эсвэл "Түр зогсолт"-ыг ашиглан гараар тээрэмдэж, дараа нь тэгийг сэгсрэх нь өөрөө ажиллах боломжийг олгоно.
7. Ашиглалтын явцад оператор машиныг орхиж болохгүй, эсвэл машины ажиллаж байгаа байдлыг тогтмол шалгаж байх ёстой.Хэрэв замын дундуур явах шаардлагатай бол холбогдох ажилтнуудыг үзлэгт хамруулна.
8. Хөнгөн хутгыг шүршихийн өмнө машины багажны хөнгөн цагаан шаарыг цэвэрлэж, хөнгөн цагаан шаар тос шингээхээс сэргийлнэ.
9. Барзгар боловсруулалтын үед агаараар үлээж, хөнгөн хутганы програмд тос цацаж үзээрэй.
10. Бэлдэцийг машинаас буулгасны дараа цаг тухайд нь цэвэрлэж, шороог нь арилгана.
11. Ажлын бус цагаар оператор нь дараагийн боловсруулалтыг хэвийн явуулахын тулд ажлыг цаг тухайд нь, үнэн зөв хүлээлгэн өгөх ёстой.
12. Машиныг унтраахын өмнө багажийн сэтгүүл анхны байрлалдаа, XYZ тэнхлэг нь төв байрлалд зогссон эсэхийг шалгаад дараа нь машины ажиллагааны самбар дээрх тэжээлийн эх үүсвэр болон үндсэн тэжээлийг унтраа.
13. Дуу цахилгаантай бороо орсон тохиолдолд цахилгааныг яаралтай унтрааж, ажлыг зогсоох шаардлагатай.
Нарийвчлалтай эд анги боловсруулах аргын онцлог нь гадаргуугийн материалын хэмжээг маш нарийн хэмжээгээр арилгаж эсвэл нэмсэн эсэхийг хянах явдал юм.Гэсэн хэдий ч нарийн эд анги боловсруулах нарийвчлалыг олж авахын тулд бид нарийн боловсруулах төхөөрөмж, нарийн хязгаарлалтын системд найдаж, хэт нарийвчлалтай маскыг зуучлагчаар авсаар байна.
Жишээлбэл, VLSI хавтанг үйлдвэрлэхэд маск дээрх фоторезистийг (фотолитографийг үзнэ үү) электрон туяанд өртдөг тул фоторезистийн атомууд электроны нөлөөн дор шууд полимержих (эсвэл задрах) болно. полимержүүлсэн эсвэл полимержээгүй хэсгүүдийг үйлдвэрлэгчтэй хамт уусган маск үүсгэдэг.Месагийн байршлын нарийвчлал нь μ M хэт нарийвчлалтай боловсруулах төхөөрөмж үйлдвэрлэх электрон цацрагт өртөх хавтангийн хувьд ± 0.01 байх шаардлагатай.
Хэт нарийвчлалтай хэсгийг огтлох
Үүнд голчлон хэт нарийвчлалтай эргэлт, толин тусгал нунтаглах, нунтаглах зэрэг орно.Бичил эргэлтийг нарийн өнгөлсөн нэг болор алмаазан эргүүлэх багаж бүхий хэт нарийн токарь дээр гүйцэтгэдэг.Зүсэх зузаан нь ердөө 1 микрон орчим байна.Энэ нь өнгөт металлын материалын бөмбөрцөг, бөмбөрцөг, хавтгай толин тусгалыг өндөр нарийвчлалтай, гадаад төрхөөр боловсруулахад өргөн хэрэглэгддэг.Найрлага.Жишээлбэл, цөмийн хайлуулах төхөөрөмжийг боловсруулахад зориулагдсан 800 мм-ийн диаметртэй асферик толь нь 0.1 μ м-ийн хамгийн дээд нарийвчлалтай байдаг.Барзгар байдал нь 0.05 μ м байна。
Хэт нарийвчлалтай эд ангиудын тусгай боловсруулалт
Хэт нарийвчлалтай эд ангиудыг боловсруулах нарийвчлал нь нанометрийн түвшин юм.Хэдийгээр атомын нэгжийг (атомын тор хоорондын зай 0.1-0.2 нм) зорилтот болгон авсан ч энэ нь хэт нарийвчлалтай хэсгүүдийг огтлох аргад дасан зохицож чадахгүй.Энэ нь тусгай нарийн ширхэгтэй эд анги боловсруулах аргыг, тухайлбал хэрэглээний химийн аргыг ашиглахыг шаарддаг.
Эрчим хүч, цахилгаан химийн энерги, дулааны энерги эсвэл цахилгаан энерги нь энергийг атомуудын хоорондох холболтын энергиээс давж, бэлдэцийн зарим гадаад хэсгүүдийн хоорондох наалдамхай, наалдац, торны хэв гажилтыг арилгах, хэт нарийн боловсруулалт хийх зорилгод хүрэхэд хүргэдэг. Механохимийн өнгөлгөө, ион цацах, ион суулгах, электрон цацраг литографи, лазер туяа боловсруулах, металлын ууршилт, молекулын цацрагийн эпитакси зэрэг орно.
Шуудангийн цаг: 2019 оны 6-р сарын 03-ны өдөр
