1. செயலாக்கத்திற்கு முன், ஒவ்வொரு நிரலும் கருவி நிரலுடன் ஒத்துப்போகிறதா என்பதை கண்டிப்பாக உறுதிப்படுத்த வேண்டும்.
2. கருவியை நிறுவும் போது, கருவியின் நீளம் மற்றும் தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட கருவி தலை பொருத்தமானதா என்பதை உறுதிப்படுத்தவும்.
3. பறக்கும் கத்தி அல்லது பறக்கும் பணிக்கருவியைத் தவிர்க்க இயந்திர இயக்கத்தின் போது கதவைத் திறக்க வேண்டாம்.
4. எந்திரத்தின் போது ஒரு கருவி கண்டுபிடிக்கப்பட்டால், ஆபரேட்டர் உடனடியாக நிறுத்த வேண்டும், உதாரணமாக, "அவசர நிறுத்தம்" பொத்தானை அல்லது "மீட்டமை பொத்தானை" அழுத்தவும் அல்லது "ஊட்ட வேகத்தை" பூஜ்ஜியமாக அமைக்கவும்.
5. அதே பணியிடத்தில், கருவி இணைக்கப்படும்போது, CNC எந்திர மையத்தின் இயக்க விதிகளின் துல்லியத்தை உறுதிப்படுத்த, அதே பணிப்பகுதியின் அதே பகுதி பராமரிக்கப்பட வேண்டும்.
6. எந்திரத்தின் போது அதிகப்படியான எந்திரக் கொடுப்பனவு காணப்பட்டால், X, Y மற்றும் Z மதிப்புகளை அழிக்க "Single Segment" அல்லது "Pause" பயன்படுத்தப்பட வேண்டும், பின்னர் கைமுறையாக அரைத்து, பின்னர் பூஜ்ஜியத்தை மீண்டும் குலுக்கி "அது தானாகவே இயங்க அனுமதிக்கிறது.
7. செயல்பாட்டின் போது, ஆபரேட்டர் இயந்திரத்தை விட்டு வெளியேறக்கூடாது அல்லது இயந்திரத்தின் இயங்கும் நிலையை தவறாமல் சரிபார்க்க வேண்டும்.நடுவழியில் விட்டுச் செல்ல வேண்டிய அவசியம் ஏற்பட்டால், சம்பந்தப்பட்ட பணியாளர்கள் ஆய்வுக்கு நியமிக்கப்பட வேண்டும்.
8. லேசான கத்தியை தெளிப்பதற்கு முன், அலுமினிய கசடு எண்ணெயை உறிஞ்சுவதைத் தடுக்க இயந்திர கருவியில் உள்ள அலுமினிய கசடு சுத்தம் செய்யப்பட வேண்டும்.
9. கரடுமுரடான எந்திரத்தின் போது காற்றை ஊத முயற்சிக்கவும், மேலும் லேசான கத்தி திட்டத்தில் எண்ணெய் தெளிக்கவும்.
10. இயந்திரத்திலிருந்து பணிப்பகுதியை இறக்கிய பிறகு, அது சரியான நேரத்தில் சுத்தம் செய்யப்பட்டு அகற்றப்பட வேண்டும்.
11. கடமையில் இருந்து வெளியேறும்போது, ஆபரேட்டர் சரியான நேரத்தில் மற்றும் துல்லியமாக வேலையை ஒப்படைக்க வேண்டும்.
12. கருவி இதழ் அசல் நிலையில் இருப்பதையும், இயந்திரத்தை அணைக்கும் முன் XYZ அச்சு மைய நிலையில் நிறுத்தப்பட்டிருப்பதையும் உறுதிசெய்து, பின்னர் இயந்திர செயல்பாட்டு பேனலில் மின்சாரம் மற்றும் முக்கிய மின்சார விநியோகத்தை அணைக்கவும்.
13. இடியுடன் கூடிய மழை பெய்தால், உடனடியாக மின்சாரத்தை துண்டித்து, பணியை நிறுத்த வேண்டும்.
துல்லியமான பாகங்கள் செயலாக்க முறையின் சிறப்பியல்பு, அகற்றப்பட்ட அல்லது மிக நேர்த்தியாக சேர்க்கப்படும் மேற்பரப்புப் பொருட்களின் அளவைக் கட்டுப்படுத்துவதாகும்.இருப்பினும், துல்லியமான பாகங்கள் செயலாக்கத்தின் துல்லியத்தைப் பெறுவதற்கு, நாங்கள் இன்னும் துல்லியமான செயலாக்க கருவிகள் மற்றும் துல்லியமான கட்டுப்பாட்டு அமைப்பை நம்பியுள்ளோம், மேலும் அதி துல்லியமான முகமூடியை இடைத்தரகராக எடுத்துக்கொள்கிறோம்.
எடுத்துக்காட்டாக, VLSIயின் தகடு தயாரிப்பிற்காக, முகமூடியில் உள்ள ஒளிச்சேர்க்கை (ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபியைப் பார்க்கவும்) எலக்ட்ரான் கற்றை மூலம் வெளிப்படுத்தப்படுகிறது, இதனால் ஒளிச்சேர்க்கையின் அணுக்கள் எலக்ட்ரானின் தாக்கத்தின் கீழ் நேரடியாக பாலிமரைஸ் செய்யப்படுகின்றன (அல்லது சிதைந்துவிடும்), பின்னர் பாலிமரைஸ் செய்யப்பட்ட அல்லது பாலிமரைஸ் செய்யப்படாத பாகங்கள் முகமூடியை உருவாக்க டெவலப்பருடன் கரைக்கப்படுகின்றன.μM அல்ட்ரா துல்லிய செயலாக்க கருவிகளை உருவாக்கும் எலக்ட்ரான் கற்றை வெளிப்பாடு தட்டுக்கு மீசாவின் பொருத்துதல் துல்லியம் ± 0.01 ஆக இருக்க வேண்டும்.
அல்ட்ரா துல்லியமான பகுதி வெட்டுதல்
இது முக்கியமாக தீவிர துல்லியமான திருப்புதல், கண்ணாடி அரைத்தல் மற்றும் அரைத்தல் ஆகியவை அடங்கும்.நுண்ணிய டர்னிங், மிகத் துல்லியமான லேத்தில், நன்றாக மெருகூட்டப்பட்ட ஒற்றைப் படிக வைரத்தைத் திருப்பும் கருவிகளைக் கொண்டு மேற்கொள்ளப்படுகிறது.வெட்டு தடிமன் சுமார் 1 மைக்ரான் மட்டுமே.அதிக துல்லியம் மற்றும் தோற்றத்துடன் இரும்பு அல்லாத உலோகப் பொருட்களின் கோள, கோள வடிவ மற்றும் விமான கண்ணாடிகளை செயலாக்க இது பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.கலவை.எடுத்துக்காட்டாக, அணுக்கரு இணைவு சாதனங்களைச் செயலாக்குவதற்கு 800 மிமீ விட்டம் கொண்ட ஒரு ஆஸ்பெரிகல் கண்ணாடி அதிகபட்ச துல்லியம் 0.1 μm ஆகும்.தோற்றத்தின் கடினத்தன்மை 0.05 μm ஆகும்.
தீவிர துல்லியமான பாகங்களின் சிறப்பு எந்திரம்
மிகத் துல்லியமான பாகங்களின் எந்திரத் துல்லியம் நானோமீட்டர் நிலை.அணு அலகு (அணு லட்டு இடைவெளி 0.1-0.2nm) இலக்காக எடுத்துக் கொள்ளப்பட்டாலும், அது தீவிர துல்லிய பாகங்களின் வெட்டு முறைக்கு ஏற்ப மாற்ற முடியாது.இதற்கு சிறப்பு துல்லியமான பாகங்கள் செயலாக்க முறை, அதாவது பயன்பாட்டு வேதியியல் பயன்படுத்தப்பட வேண்டும்.
ஆற்றல், மின்வேதியியல் ஆற்றல், வெப்ப ஆற்றல் அல்லது மின்சார ஆற்றல் ஆகியவை அணுக்களுக்கு இடையே உள்ள பிணைப்பு ஆற்றலை விட அதிகமாக ஆற்றலை உருவாக்கலாம், இதனால் பணிப்பகுதியின் சில வெளிப்புற பகுதிகளுக்கு இடையே உள்ள ஒட்டுதல், பிணைப்பு அல்லது லேட்டிஸ் சிதைவை நீக்கி, தீவிர துல்லிய எந்திரத்தின் நோக்கத்தை அடைய இந்த செயல்முறைகள் இயந்திர வேதியியல் மெருகூட்டல், அயன் ஸ்பட்டரிங் மற்றும் அயன் பொருத்துதல், எலக்ட்ரான் கற்றை லித்தோகிராபி, லேசர் கற்றை செயலாக்கம், உலோக ஆவியாதல் மற்றும் மூலக்கூறு கற்றை எபிடாக்ஸி ஆகியவை அடங்கும்.
இடுகை நேரம்: ஜூன்-03-2019
