1. איידער פּראַסעסינג, יעדער פּראָגראַם וועט שטרענג באַשטעטיקן צי די געצייַג איז קאָנסיסטענט מיט די פּראָגראַם.
2. ווען ינסטאָלינג די געצייַג, באַשטעטיקן צי די לענג פון די געצייַג און די אויסגעקליבן געצייַג קאָפּ זענען פּאַסיק.
3. דו זאלסט נישט עפענען די טיר בעשאַס מאַשין אָפּעראַציע צו ויסמיידן פליענדיק מעסער אָדער פליענדיק וואָרקפּיעסע.
4. אויב אַ געצייַג איז געפונען בעשאַס מאַשינינג, דער אָפּעראַטאָר מוזן האַלטן מיד, פֿאַר בייַשפּיל, דריקן די "עמערגענסי סטאָפּ" קנעפּל אָדער די "באַשטעטיק קנעפּל" אָדער שטעלן די "פיטער ספּיד" צו נול.
5. אין דער זעלביקער וואָרקפּיעסע, דער זעלביקער געגנט פון דער זעלביקער וואָרקפּיעסע מוזן זיין מיינטיינד צו ענשור די אַקיעראַסי פון די אַפּערייטינג כּללים פון די קנק מאַשינינג צענטער ווען די געצייַג איז קאָננעקטעד.
6. אויב יבעריק מאַשינינג פּענסיע איז געפונען בעשאַס מאַשינינג, "איין סעגמענט" אָדער "פּאָזע" מוזן זיין געניצט צו ויסמעקן X, Y און Z וואַלועס, און דעמאָלט מילינג מאַניואַלי, און דאַן שאַקינג צוריק נול "לעץ עס לויפן דורך זיך.
7. בעשאַס אָפּעראַציע, דער אָפּעראַטאָר וועט נישט לאָזן די מאַשין אָדער קעסיידער קאָנטראָלירן די פליסנדיק שטאַט פון די מאַשין.אויב עס איז נייטיק צו לאָזן מידוויי, די באַטייַטיק פּערסאַנעל מוזן זיין דעזיגנייטיד פֿאַר דורכקוק.
8. איידער ספּרייינג די ליכט מעסער, די אַלומינום סלאַג אין די מאַשין געצייַג וועט זיין קלינד צו פאַרמייַדן די אַלומינום סלאַג פון אַבזאָרבינג בוימל.
9. פּרוּווט צו בלאָזן מיט לופט בעשאַס פּראָסט מאַשינינג, און שפּריץ ייל אין די ליכט מעסער פּראָגראַם.
10. נאָך די וואָרקפּיעסע איז אַנלאָודיד פון די מאַשין, עס וועט זיין קלינד און דעבורעד אין צייט.
11. ווען אַוועק פליכט, דער אָפּעראַטאָר מוזן איבערגעבן די אַרבעט בייַצייַטיק און אַקיעראַטלי צו ענשור אַז די סאַבסאַקוואַנט פּראַסעסינג קענען זיין דורכגעקאָכט נאָרמאַלי.
12. מאַכן זיכער אַז די געצייַג זשורנאַל איז אין דער אָריגינעל שטעלע און די XYZ אַקס איז סטאַפּט אין די צענטער שטעלע איידער איר קער אַוועק די מאַשין, און דאַן קער אַוועק די מאַכט צושטעלן און הויפּט מאַכט צושטעלן אויף די מאַשין אָפּעראַציע טאַפליע.
13. אין פאַל פון שטורעם, די מאַכט מוזן זיין אויסגעדרייט מיד און די אַרבעט מוזן זיין אָפּגעשטעלט.
די קעראַקטעריסטיקס פון פּינטלעכקייַט פּאַרץ פּראַסעסינג אופֿן איז צו קאָנטראָלירן די סומע פון ייבערפלאַך מאַטעריאַלס אַוועקגענומען אָדער צוגעגעבן גאָר פיינלי.אָבער, אין סדר צו באַקומען די פּינטלעכקייַט פון פּינטלעכקייַט פּאַרץ פּראַסעסינג, מיר נאָך פאַרלאָזנ אויף פּינטלעכקייַט פּראַסעסינג ויסריכט און גענוי קאַנסטריינץ סיסטעם, און נעמען הינטער פּינטלעכקייַט מאַסקע ווי די ינטערמידיערי.
פֿאַר בייַשפּיל, פֿאַר די טעלער מאכן פון VLSI, די פאָטאָרעסיסט (זען פאָטאָליטאָגראַפי) אויף די מאַסקע איז יקספּאָוזד דורך די עלעקטראָן שטראַל, אַזוי אַז די אַטאָמס פון די פאָטאָרעסיסט זענען גלייַך פּאַלימערייזד (אָדער דיקאַמפּאָוזד) אונטער די פּראַל פון די עלעקטראָן, און דערנאָך פּאַלימערייזד אָדער ניט פּאַלימערייזד טיילן זענען צעלאָזן מיט די דעוועלאָפּער צו פאָרעם די מאַסקע.די פּאַזישאַנינג אַקיעראַסי פון מעסאַ איז פארלאנגט צו זיין ± 0.01 פֿאַר עלעקטראָן שטראַל ויסשטעלן טעלער מאכן μ M הינטער פּינטלעכקייַט פּראַסעסינג ויסריכט.
הינטער פּינטלעכקייַט טייל קאַטינג
עס דער הויפּט כולל הינטער פּינטלעכקייַט טורנינג, שפּיגל גרינדינג און גרינדינג.מיקראָ טורנינג איז געפירט אויס אויף אַ הינטער פּינטלעכקייַט לייד מיט פיינלי פּאַלישט איין קריסטאַל דימענט טורנינג מכשירים.די קאַטינג גרעב איז בלויז וועגן 1 מייקראַן.עס איז קאַמאַנלי געניצט פֿאַר פּראַסעסינג ספעריש, אַספעריקאַל און פלאַך מירערז פון ניט-פעראַס מעטאַל מאַטעריאַלס מיט הויך פּינטלעכקייַט און אויסזען.זאַץ.פֿאַר בייַשפּיל, אַ אַפעריקאַל שפּיגל מיט אַ דיאַמעטער פון 800 מם פֿאַר פּראַסעסינג יאָדער פוסיאָן דעוויסעס האט אַ מאַקסימום אַקיעראַסי פון 0.1 μ עם.אויסזען ראַפנאַס איז 0.05 μ עם.
ספּעציעלע מאַשינינג פון הינטער פּינטלעכקייַט טיילן
די מאַשינינג אַקיעראַסי פון הינטער פּינטלעכקייַט טיילן איז נאַנאָמעטער מדרגה.אפילו אויב די אַטאָמישע אַפּאַראַט (אַטאָמישע לאַטאַס ספּייסינג איז 0.1-0.2נם) איז גענומען ווי דער ציל, עס קען נישט אַדאַפּט צו די קאַטינג אופֿן פון הינטער פּינטלעכקייַט טיילן.עס ריקווייערז די נוצן פון ספּעציעל פּינטלעכקייַט פּאַרץ פּראַסעסינג אופֿן, ניימלי, געווענדט כעמיע.
ענערגיע, עלעקטראָטשעמיקאַל ענערגיע, טערמאַל ענערגיע אָדער עלעקטריק ענערגיע קענען מאַכן די ענערגיע יקסיד די באַנדינג ענערגיע צווישן אַטאָמס, אַזוי צו עלימינירן די אַדכיזשאַן, באַנדינג אָדער לאַטאַס דיפאָרמיישאַן צווישן עטלעכע פונדרויסנדיק טיילן פון די וואָרקפּיעסע און דערגרייכן די ציל פון הינטער פּינטלעכקייַט מאַשינינג די פּראַסעסאַז. אַרייַננעמען מעטשאַנאָטשעמיקאַל פּאַלישינג, יאָן ספּוטערינג און יאָן ימפּלאַנטיישאַן, עלעקטראָן שטראַל ליטהאָגראַפי, לאַזער שטראַל פּראַסעסינג, מעטאַל יוואַפּעריישאַן און מאָלעקולאַר שטראַל עפּיטאַקסי.
פּאָסטן צייט: יוני 03-2019
